Huarayについて

Huarayはハイエンドレーザーの専門メーカーです。
固体レーザーとファイバーレーザーの2つの主要なレーザー部門を持ち、市場の需要に応じて新製品の研究開発を行っています。

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産業用フェムト秒ファイバーレーザー

HR-Femto-50 産業用フェムト秒ファイバーレーザー

HR-femto 50シリーズは、実績と信頼性の高い、全天候型のフェムト秒レーザーです。パルス幅は350fs以下。必要に応じてパルス周波数を分割するパルスセレクターなど、多彩なバーストモードの組み合わせが可能です。
耐火物材料の微細加工、透明材料の切断・溶接、高分子材料の加工・処理、医療機器の製造、薄膜材料の加工などに幅広く利用できます。

特徴
  • <350fs~5psのパルス幅を調整可能
  • 複数のバーストモードをサポート
  • POD用パルスピッカー搭載 頑丈な工業用機械設計
  • オプションのSHG/THGモジュール
用途
  • 硬くて脆い材料の加工と溶接
  • 複合膜材料の加工
  • 新エネルギー材料の加工
  • 難加工の金属加工
  • 高分子材料加工
  • 医療機器製造

仕様
製品 HR-Femto-IR-50-40 HR-Femto-IR-80-60 HR-Femto-GN-25-20 HR-Femto-GN-30-24
波長 1035nm 1035nm 517nm 1035nm
平均パワー 40W 60W 20W 24W
パルスエネルギー 50 μJ @ 800 kHz 80 μJ @ 750 kHz 25 μJ @ 800 kHz 30 μJ @ 750 kHz
パルス持続時間 <350 fs ~ 5 ps <350 fs ~ 5 ps <350 fs ~ 5 ps <350 fs ~ 5 ps
バーストエネルギー 200μJ 320μJ 100μJ 120μJ
最大電力 >140MW >140MW >70MW >110MW
リピート率 Single shot to 1 MHz Single shot to 1 MHz Single shot to 1 MHz Single shot to 1 MHz
ビーム品質 M2≤1.3 M2≤1.3 M2≤1.3 M2≤1.3
ビーム発散 <1 mrad,2θ <1 mrad,2θ <1 mrad,2θ <1 mrad,2θ
ビーム円形 ≥90% ≥90% ≥90% ≥90%
ビーム径 3 ±1 mm, 1/e2 3 ±1 mm, 1/e2 3 ±1 mm, 1/e2 3 ±1 mm, 1/e2
偏光状態 線形 線形 線形 線形
パルス安定性 <2% RMS <2% RMS <2% RMS <2% RMS
電力安定性 <2% RMS <2% RMS <2% RMS <2% RMS
動作温度 10 to 30 °C 10 to 30 °C 10 to 30 °C 10 to 30 °C

HR-FemtoA-IR&GN-10-4 二波長対応レーザー発振器

IRとグリーンの二波長出力に対応した出力10 W(IR波長時)のフェムト秒レーザー光源です。光源性能の特長・優位性として、パルス幅が250 fs以下(実力値ベース)という点が挙げられます。500 fs前後のパルス幅が一般的の中、欧米メーカー製ハイエンドモデルに匹敵する短パルス幅を半額以下のコストで実現しています。

特長
  • 二波長出力対応(IR、グリーン)
  • パルス幅 250 fs以下(実力値ベース)
  • 空冷式
  • コンパクトな本体サイズ
用途
  • レーザー加工機システム向け光源

仕様
IR 波長(@ 1,000 kHz) グリーン波長(@ 1,000 kHz)
波長 1033 +/-2 nm 517 +/-2 nm
出力 ≧10W ≧4W
周波数 1,000 kHz 1,000 kHz
単バルスエネルギー ≧10 uJ@ 1,000 kHz ≧4 uJ @ 1,000 kHz
ビーム品質 TEM00 (㎡ < 1.3) TEM00 (㎡ < 1.3)
バルス幅 < 300 fs(製品実力値250 fs以下) < 300 fs(製品実力値250 fs 以下)
ビーム真円度 90% 90%
ビーム径 1.5 +/- 0.5 mm 1 +/- 0.5 mm
出力安定性 2 % rms 2 % rms
バルス安定性 2 % rms 2 % rms

HR-Femto-10 産業用フェムト秒ファイバーレーザー

HR-Femto-10シリーズは、商業用、科学研究用、生命科学用、レーザー計測用、イメージング用のフェムト秒レーザー製品です。
ワンボックスデザイン。
SHGとGreen/IRの切り替えが可能な外付けボックス。
本製品は、マーキング、多光子イメージング、3Dマイクロ・ナノ・プリンティング、リソグラフィー直描、光ストレージなどに幅広く使用できます。

特徴
  • 光学機器と電子機器の一体型
  • ワンボタン操作
  • 最大10μJのパルスエネルギーに対応 最大10μJのパルスエネルギーに対応
  • 光アイソレータ内蔵
  • 直線偏光出力
  • モニタリング用受光素子内蔵
  • リモートコントロール、メンテナンスフリー
用途
  • 多光子イメージング
  • 光の遺伝
  • 眼科手術
  • 組織の切除
  • 3Dマイクロ・ナノプリント
  • 直描リソグラフィー
  • 光ストレージ

仕様
製品 HR-Femto-IR-10-10 HR-Femto-GN-4-4
波長 1035nm 517nm
平均パワー 10W 4W
パルスエネルギー 10 μJ @ 1 MHz 4 μJ @ 1 MHz
パルス持続時間 <400 fs <400 fs
最大電力 >25 MW >10 MW
リピート率 Single Shot to 2 MHz Single Shot to 2 MHz
ビーム品質 M2≤1.3 (Typical <1.2) M2≤1.3 (Typical <1.2)
ビーム発散 <1 mrad,2θ <1 mrad,2θ
ビーム円形 ≥90% ≥90%
ビーム径 3 ±1 mm, 1/e2 3 ±1 mm, 1/e2
偏光状態 線形 線形
パルス安定性 <2% RMS <2% RMS
電力安定性 <2% RMS <2% RMS
動作温度 10 to 30 °C 10 to 30 °C

HR-Femto-200フェムト秒ファイバーレーザー

HR-Femto 200シリーズは、安定した信頼性の高いフェムト秒パルスファイバーレーザーです。
このシリーズの製品は光と電気の統合設計を採用し、パルス幅は350fs以下、単一パルスのエネルギーは最大200μJ、バーストモードモードをサポートいます。半導体ウェハーの加工、ガラスなどの硬脆材料の加工や溶接、高分子材料の加工・処理、医療機器の製造、セラミックスやポリマーの加工などに幅広く使用することができます。

特徴
  • >200μJ以上のパルスエネルギー
  • <350fs以下のパルス幅
  • バーストモード対応
  • 光と電気の統合デザイン
  • ワンボタン操作
  • 光絶縁素子内蔵
  • パルスセレクター内蔵
用途
  • 硬質・脆性材料の加工・溶接
  • 複合膜材料の加工
  • 新エネルギー材料の加工
  • 難易度の高い金属加工
  • 高分子材料加工
  • 医療機器製造

仕様
製品 HR-Femto-IR-200-35
波長 1035nm
平均パワー 35W
パルスエネルギー 200 μJ @ 175 kHz
パルス持続時間 <350 fs
最大電力 >570MW
リピート率 Single shot to 1 MHz
ビーム品質 M2≤1.3
ビーム発散 <1 mrad,2θ
ビーム円形 ≥85%
ビーム径 4 ±2 mm, 1/e2
分極比 > 100:1
偏光状態 線形
パルス安定性 <2% RMS
電力安定性 <2% RMS
動作温度 10 to 30 °C
外部通信 RS-232, Ethernet, USB

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