真空X/XYステージ
製品イメージ
製品の一例
| 型式 | テーブル面 | 移動範囲 | 水平耐荷重 |
|---|---|---|---|
| MVXA05A-L2 | 50mm×50mm | ±25mm | 49N (5kgf) |
| MVXA05A-R1 | 50mm×50mm | ±7.5mm | 49N (5kgf) |
| MVXA07A-L2 | 70mm×70mm | ±35mm | 68.6N (7kgf) |
| MVXA07A-R1 | 70mm×70mm | ±10mm | 98N (10kgf) |
| MVXA10A-L2 | 100mm×100mm | ±50mm | 196N (20kgf) |
| MVXA10A-R1 | 100mm×100mm | ±12.5mm | 196N (20kgf) |
| MVXA16A-R1 | 160mm×124mm | ±25mm | 294N (30kgf) |