真空X/XYステージ
製品イメージ
製品の一例
| 型式 | テーブル面 | 移動範囲 | 水平耐荷重 |
|---|---|---|---|
| MVXA05A-L2 | 50 mm×50 mm | ±25 mm | 49 N (5 kgf) |
| MVXA05A-R1 | 50 mm×50 mm | ±7.5 mm | 49 N (5 kgf) |
| MVXA07A-L2 | 70 mm×70 mm | ±35 mm | 68.6 N (7 kgf) |
| MVXA07A-R1 | 70 mm×70 mm | ±10 mm | 98 N (10 kgf) |
| MVXA10A-L2 | 100 mm×100 mm | ±50 mm | 196 N (20 kgf) |
| MVXA10A-R1 | 100 mm×100 mm | ±12.5 mm | 196 N (20 kgf) |
| MVXA16A-R1 | 160 mm×124 mm | ±25 mm | 294 N (30 kgf) |