シグマ光機株式会社について
シグマ光機は安心の日本メーカーです。Optosigma(オプトシグマ)のブランドで他社ではつくれない「オンリーワン技術」の製品を提供します。
弊社は正規代理店ですので定価よりもグッとお安く提供できます。
型番はおわかりですか?なにかお探しの部品がございますか?まずはお問い合わせを!
シグマ光機セット登場!!
光学系の構築に使用頻度の高い部品を組み合わせ、お求めやすくしたセットを用意いたしました。
光学実験に必要な部材を取り揃える手間とコストの削減に本セットをご活用下さい。
製品ラインナップ
オプティカルケージシステム
- Cage 透過プレート / C16-SP-H16
- Cage ブランクプレート / C16-BKP
- Cage アライメントプレート / C16-AP-12.7
- Cage回転マウント(ピエゾドライブモータタイプ) / C16-KM-12.7PDM
- Cage回転マウント(マイクロメータータイプ) / C16-KM-12.7M
- Cage 偏光子ホルダー / C16-MPH-12.7
光学素子
- スーパーミラー (TFHSM)
- ハイパワーレーザ用ミラー (TFMHP/TFMHPQ)
- 2波長ミラー (TFMMW)
- ハーモニック・セパレーター (YHS/YHSQ)
- ポルカドットビームスプリッター
- ハイパワー用偏光ビームスプリッター (PBSHP/PBSHPQ)
- ワイヤーグリッド偏光フィルター / WGPF-30C
光ファイバ調芯
- 手動12軸調芯ユニット / DAU-080M-0
- 手動6軸調芯ユニット / DAU-080M-R
- 手動6軸調芯ユニット / DAU-080M-L
- 3軸自動XYθユニット / DAU-120A
- NFP観察キット / NFP-KIT
ホルダー・光学マウント
- キネマティックミラーホルダー (MHG)
- 高安定高操作性ミラーマウント (MHO)
- ジンバル式ミラーホルダー (MHAN/MHA)
- 小型芯出し式レンズホルダー (LHCM)
- 同軸レンズホルダー (SLH)
- スライド式シリンドリカルレンズホルダー (CHA)
- プリズムホルダー(傾斜・回転調整付)(KKD)
- コンパクトプリズムホルダー (PAD)
自動ステージ
オプティカルケージシステム
Cage用プレート (16mm)
Cage 透過プレート / C16-SP-H16
詳細
透過プレートは、中央に16mm用Cageケージシステムに取り付けるための16 mm開口があります。またφ4 mmのケージロッドを通すための貫通穴があります。
- 適応アダプタ径 φ16mm
- ロッドサイズ(間隔) φ4mm (16x16mm)
- 質量 0.003kg
- 主要材質 アルミ
- 表面処理 黒アルマイト
Cage ブランクプレート / C16-BKP
詳細
WEBカタログに掲載している標準品の穴のサイズ・形状では対応ができない場合に使用します。
お客様にて任意の穴のサイズ・形状に加工することが出来ます。
ケージ用のロッド(C16-RO-**:φ4mm)貫通穴(4-φ4mm)にはロッド固定用のビスがあり、しっかり固定することができます。
- ロッドサイズ(間隔) φ4mm (16x16mm)
- 質量 0.004kg
- 主要材質 アルミ
- 表面処理 黒アルマイト
Cage アライメントプレート / C16-AP-12.7
詳細
16mmCageアセンブリ内でφ12.7の光学素子を保持し、平面内で位置の粗調整(可動範囲φ1mm)を可能にするプレートです。可動プレートの2本のネジを緩め、手動で可動プレートの位置調整後に締めて固定します。
- 適応取付ネジ寸法 M13.55 P0.75
- ロッドサイズ(間隔) φ4mm (16x16mm)
- 質量 0.002kg
- 主要材質 アルミ
- 表面処理 黒アルマイト
Cage用偏光子ホルダー (16mm)
Cage回転マウント(ピエゾドライブモータタイプ) / C16-KM-12.7PDM
詳細
ケージシステムに組み込み、光学素子やアダプタを光軸回転できるマウントです。偏光素子のような精密な回転調整が必要なデバイスに最適です。
- 360°の粗動回転と±5°の微調回転を切り替えて使用することができます。
- 品番末尾の-M/-PDMは微調回転のアクチュエータを示しており、Mはマイクロメータが組み込まれていて手動の調整ができ、PDMはピエゾドライブモータが組み付いていて自動遠隔で微調整ができます。(ただし、±5°の範囲しか動きません。)
- 微動機構には対向クランプが備わっており、微動機構をロックすることができます。
- C30タイプとC32タイプには回転テーブル面にM3のアダプタ取付用のネジ穴が用意されています。
- 回転枠の側面に角度の目盛りの主尺、本体に副尺が刻印されているので、細かい回転角度を読み取ることができます。
- 組付け ロッド端からスライド
- 適応素子径 φ12.7 mm
- ロッドサイズ(間隔) φ4mm (16x16mm)
- 質量 0.055 kg
- 主要材質 アルミ
- 調整範囲(回転) 360°
- 適応素子厚さ 3~6.5 mm
- 微調範囲(回転) ±5°
- 表面処理 黒アルマイト
- 目盛最小読取 2°
- 有効径 φ10 mm
Cage回転マウント(マイクロメータータイプ) / C16-KM-12.7M
詳細
ケージシステムに組み込み、光学素子やアダプタを光軸回転できるマウントです。偏光素子のような精密な回転調整が必要なデバイスに最適です。
- 360°の粗動回転と±5°の微調回転を切り替えて使用することができます。
- 品番末尾の-M/-PDMは微調回転のアクチュエータを示しており、Mはマイクロメータが組み込まれていて手動の調整ができ、PDMはピエゾドライブモータが組み付いていて自動遠隔で微調整ができます。(ただし、±5°の範囲しか動きません。)
- 微動機構には対向クランプが備わっており、微動機構をロックすることができます。
- C30タイプとC32タイプには回転テーブル面にM3のアダプタ取付用のネジ穴が用意されています。
- 回転枠の側面に角度の目盛りの主尺、本体に副尺が刻印されているので、細かい回転角度を読み取ることができます。
- 組付け ロッド端からスライド
- 適応素子径 φ12.7 mm
- マイクロメータ最小読取 約2’1.32″
- ロッドサイズ(間隔) φ4mm (16x16mm)
- 質量 0.045 kg
- 主要材質 アルミ
- 調整範囲(回転) 360°
- 適応素子厚さ 3~6.5 mm
- 微調範囲(回転) ±5°
- 表面処理 黒アルマイト
- 目盛最小読取 2°
- 有効径 φ10 mm
Cage 偏光子ホルダー / C16-MPH-12.7
詳細
偏光素子をケージシステムに組み込むためのホルダーです。
- ケージシステムには、多種多様な部品を光軸に沿って取り付けるように専用ロッドが4本使用されています。ケージシステムには、φ6mmの専用ロッドを使用する□32mmコーナー配置(C32シリーズ)のオリジナルサイズをはじめ、□30mmコーナー配置(C30シリーズ)と□60mmコーナー配置(C60シリーズ)の3タイプがあります。さらに小型化が可能なφ4mmの専用ロッドを使用する□16mmコーナー配置(C16シリーズ)の計4タイプをラインナップしています。
- ホルダープレートはロッド(ケージ)の中を光軸方向にスライドさせることができます。ステージを使わなくても、レンズの焦点合わせやカメラのピント合わせが簡単にできます。
- 組付け ロッドの側面からスロットイン
- 適応素子径 φ12.7mm
- ロッドサイズ(間隔) φ4mm (16x16mm)
- 最小読取 2.5°
- 質量 0.013kg
- 主要材質 アルミ
- 調整範囲 360°
- 適応素子厚さ 2~8mm
- 表面処理 黒アルマイト
- 有効径 φ10mm
光学素子
ミラー
スーパーミラー (TFHSM)
詳細
距離や時間の極限の精度を光を使って求めるときには、ファブリペローの共振器(キャビティー)が使われます。 スーパーミラーはこの共振器の性能を上げるために、反射率を限りなく1に近づけた超高性能なミラーです。
イオンビームスパッタリング法(IBS)を使用して、緻密で欠陥の少ない高品質な膜が蒸着されています。
特殊な研磨技術を用い、表面粗さRa0.1nm以下の低散乱基板を使用しています。
長年築き上げてきた膜設計技術により、反射率99.999%の反射膜を実現しました。
基板や膜による散乱損失は極めて小さく、キャビティーを構成したときに、非常に狭いスペクトル幅と高いフィネスが期待できます。
波長532nmと1064nmの2タイプをご用意しています。
TFHSM共通仕様
材質 | 合成石英 |
---|---|
コーティング | 表面 誘電体多層高反射コート 裏面 誘電体多層反射防止コート |
入射角度 | 0° |
基板面精度 | λ/10 |
平行度 | <5″ |
スクラッチ-ディグ | 10-5 |
有効径 | 外径の80% |
裏面反射率 | <0.15% |
形状 | 平面基板 |
ハイパワーレーザ用ミラー (TFMHP/TFMHPQ)
詳細
エネルギーが大きい光学系に使用するためのミラーです。
TFMHPシリーズはパルスNd-YAGレーザ (またはYb-YLFレーザ) やエキシマレーザの光学系に、TFMHPQシリーズはYbパルスレーザの光学系に使用するためのミラーです。
TFMHPシリーズは、YAGレーザの波長に合わせ、基本波 (1064nm) から4倍波 (266nm) までのミラーとArF (193nm)、KrF (248nm) のエキシマレーザ用のミラーをご用意しています。
TFMPQシリーズは、Ybレーザの波長に合わせ、基本波 (1030nm)、2倍波 (515nm)、3倍波 (343nm)、4倍波 (257nm) のミラーをご用意しています。
高い反射率が得られるので、ミラーを複数枚反射させても、光量は大きく減衰しません。
吸収がない誘電体多層膜を使用しているので、高出力レーザの連続照射にも耐えられます。
TFMHP/TFMHPQ共通仕様
材質 | TFMHP: BK7 TFMHPQ: 合成石英 |
---|---|
コーティング | 誘電体多層膜 |
入射角度 | 45°±3° |
基板面精度 | λ/10 |
平行度 | <3′ |
スクラッチ-ディグ | 10月5日 |
有効径 | 外径の90% |
裏面 | 研磨面 |
2波長ミラー (TFMMW)
詳細
Nd-YAGレーザやファイバーレーザ (2倍波まで) に対応し、1枚で2つの波長帯域をカバーするミラーです。
YAGレーザ・ファイバーレーザの基本波に加え、2倍波までカバーし、2つの帯域で99%以上の高反射率を実現しました。
高い反射率を実現しているため、ミラーを複数回反射させても、光量は大幅に減少しません。
誘電体多層膜のミラーを使用しているため、ミラー面にキズがつきにくく、クリーニングが可能です。
膜の吸収が少ないため、経時変化が少なく、連続的なレーザの照射にも耐えられます。
TFMMW共通仕様
材質 | 合成石英 |
---|---|
コーティング | 誘電体多層反射防止膜 |
入射角度 | 45° |
基板面精度 | λ/10 |
平行度 | <3′ |
スクラッチ-ディグ | 20-10 |
有効径 | 外径の90% |
裏面 | 研磨面 |
ビームスプリッター
ハーモニック・セパレーター (YHS/YHSQ)
詳細
YAGレーザ (1064nm) を高調波変換したレーザ光 (266nm、355nm、532nm) を波長で分離または合波する場合に使用します。反射率波長が違う5種類をご用意しています。
誘電体多層膜を使用しているので、膜に吸収がなく、エネルギー密度の高いレーザ光にも使用できます。
プレートタイプのため、ビーム径の大きなレーザにも使用できます。
99.2%以上の高い反射率 (2波長仕様は98%以上) により、反射波長と透過波長を分離することができます。
YHS/YHSQ共通仕様
材質 | YHS: BK7 YHSQ:合成石英 |
---|---|
基板面精度 | λ/10 |
コーティング | 表面 誘電体多層膜 裏面 反射防止膜 |
入射角度 | 45° |
平行度 | <5″ |
スクラッチ-ディグ | 10-5 |
有効径 | 外径の90% |
ポルカドットビームスプリッター
詳細
ポルカドットビームスプリッターとは、ガラス基板に網点 (水玉模様) のアルミコーティングを施したビームスプリッターです。
入射角依存性が少なく、紫外域から赤外域までの幅広い波長で使用できます。
コーティングされた点の面積比によって反射透過率比が調整されています。
誘電体タイプのビームスプリッタとは異なり、入射角度を変えても反射透過率比の変化は殆ど生じません。
外径がφ25.4mmとφ50.8mmの2タイプと7:3、5:5、3:7の3種類の反射透過率比をご用意しています。
PDBS共通仕様
材質 | 合成石英 |
---|---|
平行度 | <3′ |
コーティング | 表面 Al+MgF2 裏面 ノーコート |
推奨入射角 | 0~45° |
使用波長範囲 | 250~2200nm |
スクラッチ-ディグ | 80-50 |
ドットピッチ | 0.3mm |
偏光素子
ハイパワー用偏光ビームスプリッター (PBSHP/PBSHPQ)
詳細
Nd-YAGレーザやYbレーザなどのパルスレーザ用に設計された偏光ビームスプリッターです。
プリズムの貼り合わせ面に接着剤を使わず、オプティカルコンタクトで接合しているので、ハイパワーレーザにも耐えられます。
低蛍光で耐熱衝撃性に優れた合成石英をキューブ材質に使用した製品もラインナップしています。
PBSHP/PBSHPQ共通仕様
材質 | BK7 合成石英 |
---|---|
基材面精度 | λ/4 |
透過ビーム偏角 | <10′ |
コーティング | 斜面 誘電体多層膜 |
側面4面 反射防止膜 | |
入射角度 | 0° |
P偏光透過率 | >97% |
透過消光比 | Ts:Tp=1:200 |
スクラッチ-ディグ | 20−10 |
有効範囲 | 外形寸法の85%の正方に内接する円 |
ワイヤーグリッド偏光フィルター / WGPF-30C
詳細
100~150nm間隔のアルミ線網が加工されたワイヤーグリッドフィルムを使用しているため、可視光から赤外域で直線偏光を取り出すことが出来ます。
偏光実験や偏光を使った光量調整に使うことができます。
- 赤外域では10-3程度の消光比が得られます。
- 吸収タイプの偏光フィルターより耐熱性に優れています。
- 枠に固定されているので、素子の取扱いが容易で、ホルダーへの固定は簡単です。
- 金属枠の印の方向に振動する直線偏光成分のみ透過します。
- 厚さ t 2.2mm
- コーティング 無し
- 適応波長 420~1600nm
- 枠外径 φA φ30mm
- 有効径 φD φ23mm
- 枠材質 アルミ 表面処理:黒アルマイト
光ファイバ調芯
手動調芯ユニット
手動12軸調芯ユニット / DAU-080M-0
詳細
- 高分解能ステージの採用により、再現性に優れた調芯が可能です。
- ホルダーは、マグネット固定方式と突き当て機構の採用により、位置再現性を確保。
- 互換性のあるホルダーを交換することで、デバイスの変更に伴うアプリケーションの拡張が可能です。(ファイバーホルダー、ファイバー回転ホルダー 、ファイバーアレイホルダー等)
手動6軸調芯ユニット / DAU-080M-R
詳細
- 高分解能ステージの採用により、再現性に優れた調芯が可能です。
- ホルダーは、マグネット固定方式と突き当て機構の採用により、位置再現性を確保。
- 互換性のあるホルダーを交換することで、デバイスの変更に伴うアプリケーションの拡張が可能です。(ファイバーホルダー、ファイバー回転ホルダー 、ファイバーアレイホルダー等)
手動6軸調芯ユニット / DAU-080M-L
詳細
- 高分解能ステージの採用により、再現性に優れた調芯が可能です。
- ホルダーは、マグネット固定方式と突き当て機構の採用により、位置再現性を確保。
- 互換性のあるホルダーを交換することで、デバイスの変更に伴うアプリケーションの拡張が可能です。(ファイバーホルダー、ファイバー回転ホルダー 、ファイバーアレイホルダー等)
3軸自動XYθユニット
3軸自動XYθユニット / DAU-120A
詳細
- YAG溶接用面合わせ機構(ジンバル)ユニットも取付可能です。
- Z軸との組合せで、使用すると有効です。
- 高剛性、高性能ステージの採用により、再現性に優れた調芯が可能です。
- ホルダーは、マグネット固定方式と突き当て機構の採用により、位置再現性を確保する構造です。
- 互換性のあるホルダーを交換する事で、デバイスの変更に伴うアプリケーションの容易な拡張が可能です。(ファイバーホルダー、ファイバー回転ホルダー、ファイバーアレイホルダー等)
調芯周辺機器
NFP観察キット / NFP-KIT
詳細
- 自動調芯ユニットと本製品を組み合わせることで、画像視野内の輝度値を参照して調整が可能です。
- 測定対象のビーム径 (NFP) 、楕円情報、重心点などを観察・取得することができるため、光ファイバーや光導波路の簡易的な評価・実験に使用することができます。
ホルダー・光学マウント
ミラーホルダー
キネマティックミラーホルダー (MHG)
詳細
2枚の板で構成されている、たいへんシンプルな形のキネマティックミラーホルダーです。
構造が簡単なので、経時変化や温度変化に優れています。 レーザ共振器や干渉計のミラーホルダーとして使用できます。
小径レンズは素子押えネジで簡単に固定することができます。
高安定型ミラーホルダーのMHG-HSと量産型ミラーホルダーのMHG-MPの2タイプあります。
高安定型(MHG-HS)はネジのツマミが大きく、2つの作用点の他に支点も調整でき、ミラーの垂直方向の変位も調整することができます。
MHG-HSタイプ以外には、調整ネジにセットボルト式のロック機構がついています。
ミラーを固定するときに発生する応力を加減できるように、ミラー側面を3箇所で固定する保持方法を採用しています。
ネジリング等による有効径の制約がないため、反射光や透過光で大きな有効径が得られます。
MHG共通仕様
- 主要材質 アルミ(MHG-MP12.7のみシンチュウ)
- 表面処理 黒アルマイト(MHG‐MP12.7のみスーパーブラッククロム)
高安定高操作性ミラーマウント (MHO)
詳細
ミラー調整の細かな操作性と安定性に優れたステンレス製ミラーマウントです。
高剛性の本体に、ねじりバネによるバックラッシ除去機構を搭載することにより、長時間安定を実現しました。
極小ピッチ調整ねじ (ピッチ0.1mm) を採用することで、繊細なミラー角度調整が行えます。
ホルダーの幅をスリム化することで、複雑な光学系をコンパクトにまとめることが可能です。
勝手が違うRタイプとLタイプをご用意しています。
アオリ軸や回転軸の他に、支点軸も調整ネジになっているので、光路長を可変するのに便利です。
ロッドやポストスタンドなど高さを調整する各種のベーススタンドに固定できます。(付属M4ネジ、M6タップ)
ミラーはミラー枠側面のセットビスで固定するか、ミラー枠の3ヶ所台座に接着することができます。
MHO共通仕様
- 主要材質 ステンレス
- 表面処理 無し
ジンバル式ミラーホルダー (MHAN/MHA)
詳細
ジンバル構造になっているので、ミラーの反射面を回転中心として、ミラーの角度を自由に変えることができます。 レーザビームの取り回しや反射ビーム方向を切り替える時に使用できます。
ジンバル構造と切替クランプ付きの微調機構により、あらゆる方向で反射ビームの角度の微調整が行えます。
ネジリングによりミラーの反射面がミラー枠の基準面に押し付けられているので、ミラーの厚さが変わっても反射面の位置が変わらず、常に反射面に回転中心が来ます。
MHAN/MHA共通仕様
- 主要材質 アルミ
- 表面処理 黒アルマイト
レンズホルダー
小型芯出し式レンズホルダー (LHCM)
詳細
芯出し機構を小型化した、芯出しレンズホルダーです。芯出し調整機構がコンパクトなので低い光軸で使用することができます。
レーザビームの集光位置の調整やコリメートビームの方向調整に使うことができます。
φ10mmからφ50.8mmの各種サイズのレンズで芯出し調整ができます。
肉厚のアクロマートレンズでも固定、調整することができます。
ホルダーの厚みが薄いため、レンズの前後に光学素子を近接させることができます。
LHCM共通仕様
- 主要材質 アルミ
- 表面処理 黒アルマイト
同軸レンズホルダー (SLH)
詳細
任意の外径サイズのレンズを3つ爪で保持するホルダーです。
3つ爪でレンズを保持した時に、レンズの芯は常に同じ位置に来るように設計されています。
レンズ系で、色々な種類のレンズに交換して試してみるような実験に使用できます。
ホルダーの3つの爪はレンズ側面に接触し、バネによる圧力によってレンズが保持されます。
2つのレバー間隔を押し縮めることで3爪が開き、力を緩めると3つ爪が閉まります。
クランプを締めることで、3つ爪の位置を固定することができます。
SLH共通仕様
- 主要材質 アルミ
- 表面処理 黒アルマイト
スライド式シリンドリカルレンズホルダー (CHA)
詳細
角型のレンズ (シリンドリカルレンズ) を固定するホルダーです。
スライド式なので任意のサイズの角型レンズを簡単に固定することができます。
ノーマルタイプは、レンズを挟む上下部品にコルクシートが貼り付けてあるので、レンズがすべり難くなっています。
フレキシブルタイプ (CHA-60F) は、上下に取り付けられたレンズ固定フレームとレンズ枠でレンズ厚さ方向を挟み込むので、厚いレンズでも固定でき、レンズが脱落する心配がありません。
CHA共通仕様
- 主要材質 アルミ
- 表面処理 黒アルマイト
プリズムホルダー
プリズムホルダー(傾斜・回転調整付)(KKD)
詳細
キューブビームスプリッターや直角プリズムなどのブロック形状の光学素子を固定するホルダーです。
プリズム押えの支柱が対角になるようにキューブプリズムを設置することで、プリズムの4面全てを使うことができます。
KKDタイプは2方向の傾斜と回転の調整機構が備わっており、反射ビームの微調整が可能です。
指定範囲の素子サイズであれば、任意のサイズでも固定できます。
プリズム押え機構のノブと押えが独立しているので、ノブを回してもプリズムが一緒に回転することはありません。
KKD共通仕様
- 主要材質 アルミ
- 表面処理 黒アルマイト
コンパクトプリズムホルダー (PAD)
詳細
キューブビームスプリッターを固定するためのホルダーです。
プリズム押さえの支柱を無くし、薄い爪でキューブ側面下部を挟み込むので、4方向全てで有効径を大きく使うことができます。
プリズムの幅に合わせたホルダー形状になっているので、他の素子の近接が可能です。
PAD共通仕様
- 主要材質 アルミ
- 表面処理 黒アルマイト
自動ステージ
ステッピングモータ
X軸高剛性・精密型自動ステージ (OSMS-X)
詳細
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
モータをすっきりカバーリングし、CEに準拠した(OSMS33-800は除く)弊社のスタンダード自動ステージです。
アウターレールの特長を最大限に活かし、汎用性の高い35~800mmの移動量に対応しています。
α軸ガイド一体型ゴニオステージ (OSMS-A)
詳細
焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度自動ゴニオステージです。
滑らかな移動が得られるため、頻繁に角度調整を必要とする箇所に最適です。
真空仕様自動ステージ / VSGSP26-200(X)
詳細
真空環境に対応したリミットセンサを搭載した自動ステージです。
- 直動系は35~200mmのロングストロークを実現し、従来のSGSPシリーズと同様でコンパクト化を実現しました。
- MAXスピード 20mm/sec
- 繰返し位置決め精度 10μm
- ステージ材質 アルミ・ステンレス
- センサ品番 GN-PT5M3B-1(㈱メトロール)
- テーブル面サイズ 80×80mm
- 分解能/(Full) 4μm/パルス
- リミットセンサ 真空タッチセンサ(NORMAL CLOSE)
- ロストモーション 10μm
- 移動ガイド アウターレール構造
- 移動量 200mm
- 近接原点センサ 無
- 原点センサ 無
- 最小応答分解能(参考) 0.2μm
- 質量 2.5kg
- 送りネジ 精密研削ネジφ8mm、 リード2mm
- 耐荷重 58.8N(6.0kgf)
- 表面処理 無
- 分解能/(Half) 2μm/パルス
コントローラ/ドライバ
1軸ステージコントローラ / GSC-01
詳細
5相ステッピングモータドライバを内蔵した1軸のステージコントローラです。
- RS232Cインターフェイスによる外部制御と、フロントパネルのジョグスイッチ、外部I/Oによるジョグ駆動が可能です。
- コントローラ機能 有
- 質量 0.4㎏
- 消費電力 32VA
- 円弧補間制御 無
- 外形寸法(W×H×D) 47×90×125mm
- 駆動電流 0.3~0.8A/相
- 周囲湿度 20~80%RH(結露なきこと)
- 制御軸数 1軸
- 直線補間制御 無
- 電源電圧 DC24V 1.3A
- 動作温度 5~40℃
- 保存温度 ー20~60℃
3軸ステージコントローラ / HSC-103
詳細
自動ステージを低騒音・低振動で動作させることが可能です。(機種により異なります)
- パソコンからUSB通信(シリアル通信)でコントローラを制御することが可能です。
- 自動ステージを最大3軸まで同時に制御することが可能です。
- コントローラ機能 有
- 円弧補間制御 有
- 制御軸数 3軸
- 直線補間制御 有
パルスジェネレータコントローラ / PGC-04-U
詳細
各種モータドライバに接続できるパルスジェネレータタイプの4軸コントローラです。
- PGC-04-UはEthernet、USBインターフェイスによる制御が可能です。
- ハンディターミナル(JS-301、JB-401、JD-101)や4軸ジョグダイヤルコンソール(MD-400) により手動操作が可能です。
- コントローラ機能 有
- 円弧補間制御 なし
- 制御軸数 4軸
- 直線補間制御 有
高分解能フィードバックステージシステム
1nmフィードバックステージ (NFS-UPX)
詳細
CE・UKCAマーキングに対応した5相ステッピングモータ駆動ガラススケール内蔵の高分解能フィードバックステージです。光学式ガラススケールを内蔵し、高い位置再現性と高分解能を実現しました。
ボールねじ駆動のためピエゾステージよりも移動量が長く確保でき、さらに豊富な移動量とテーブルサイズから選定できます。
ユーザビリティー向上の観点からAutoconfigによるプラグインを実現しました。
フィードバックステージ (NFSシリーズ) 対応コントローラ (SHRC-203) をご用意しています。
分解能1nmタイプは、6種類のテーブル面サイズから選択ができます。
3軸ステージコントローラ / SHRC-203
詳細
オープンタイプの5相ステッピングモータ搭載の自動ステージから1nmナノステージまで幅広い分解能のステージを制御可能なコントローラです。
- 5相ステッピングモータ駆動用ドライバを内蔵した各軸独立で3軸フルクローズドループおよびオープンループ制御が可能なステージコントローラです。
- USB/GP-IB/Ethernetインターフェースによる外部制御、フロントパネルまたはハンディターミナル(JS-301、JB-401、JD-101、MD-400)による手動操作、8バンクの内蔵プログラムによる自動制御が可能です。
- ガラススケール内蔵ステージと組み合せフルクローズドループ制御が可能です。
10nmフィードバックステージ / FS-3200PX
詳細
10nm分解能で位置決めができるフィードバックステージです。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。
このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め(位置再現性)、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、5種類をラインナップしています。移動量が大きいため、広範囲にデータを取得したい場合やサンプルの精密な位置決めと移動を1台のステージで行いたい場合に最適です。
- テーブル面サイズ 160×230mm
- 走り平行度 10μm(移動量100mmあたりの走り平行度)
- 移動ガイド LMガイド
- 移動量 200mm
- 繰返し位置決め精度※1 ±20nm
- 最小分解能※1 10nm
- 最大移動速度 20mm/sec
- 質量 5.0㎏
- 送りネジ ボールねじ径φ10mm、リード2mm
- 耐荷重 196N(20kgf)
同社のブランド”OptoSigma”のキャラクターです
キュートでポップなキャラクターも一緒に同社のケージシステムなど優れた製品を日本中に広めています。
販売実績
(2024年 1月更新)
アカデミック
- 愛知工業大学
- 宇宙航空研究開発機構
- 宇都宮大学
- 核融合科学研究所
- 岐阜工業高等専門学校
- 京都工芸繊維大学
- 京都大学
- 京都府立医科大学
- 近畿大学
- 九州大学
- 慶應義塾大学
- 高エネルギー加速器研究機構
- 高輝度光科学研究センター
- 産業技術総合研究所
- 情報通信研究機構
- 神戸大学
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