超高精密フェムト秒レーザー加工機微細穴加工 – シリコンウェハー
フェムト秒レーザー（超短パルスレーザー）は照射箇所のみを分子乖離・コールドアブレーションさせることができるため微細加工に適しています。
このページでは自社 超高精密フェムト秒レーザー加工機にて行った 微細穴加工 の加工結果を掲載しています。
【微細穴加工】
- 目的：200μm の 微細穴 を 千鳥格子パターンで 10個 × 10個 = 計100個 をレーザーにて掘削
- 素材：シリコンウェハー、t = 500μm (0.5mm)
- 方法：穴サイズ小（100μm）、中（150μm）、大（200μm）の順で同じ箇所に穴あけ加工し、少しずつ穴の大きさを拡げていく
- 結果：200μm の穴を 250μm の間隔（壁厚 50μm）で掘削
【加工動画】
※レーザー照射がわかりやすいようにグリーンレーザーで実施
【加工結果】
顕微鏡画像（80倍）<クリックで拡大表示（各種データ付き）>
超高精密フェムト秒レーザー加工機
-femto-pro-
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