超高精密フェムト秒レーザー加工機薄膜除去 – 金属薄膜蒸着ガラス
フェムト秒レーザー（超短パルスレーザー）は照射箇所のみを分子乖離・コールドアブレーションさせることができるため微細加工に適しています。
このページでは自社 超高精密フェムト秒レーザー加工機にて行った 薄膜除去 の実施結果を公開しています。
【微細穴加工】
- 目的：ガラス表面の金属薄膜を選択的除去
- 素材：金属薄膜蒸着ガラス
- 方法：ステージ動作とレンズ動作により、大面積の素材に対してレーザーを走査し高精度な薄膜除去を施す
- 結果：10μm 幅の溝を掘削、加工箇所の金属薄膜を選択的除去できガラス面が露出
【加工動画】
※レーザー照射がわかりやすいようにグリーンレーザーで実施
【加工結果】
顕微鏡画像（1000倍）
<クリックで拡大表示（除去幅データ付き）>
ガラス下から透過光照射 顕微鏡画像（1000倍）
<クリックで拡大表示（除去幅データ付き）>
※薄膜除去した箇所が透過光で白く見えている
超高精密フェムト秒レーザー加工機
-femt-pro-
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フェムト秒レーザー加工機を導入したいはもちろん、こういった加工ができるか相談したい、ピコ秒・ナノ秒との違いを比較したいなど、お困りごと・ご相談ごとがあれば下記よりお問い合わせください。
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