超高精密フェムト秒レーザー加工機微細穴加工 – ポリイミドフィルム
フェムト秒レーザー（超短パルスレーザー）は照射箇所のみを分子乖離・コールドアブレーションさせることができるため微細加工に適しています。
このページでは自社 超高精密フェムト秒レーザー加工機にて行った 微細穴加工 の加工結果を掲載しています。
【微細穴加工】
- 目的：素材に対し 35μm の 微細穴 を 千鳥格子パターンで 10個 × 10個 = 計100個 をレーザーにて掘削
- 素材：ポリイミドフィルム、t = 50μm (0.05mm)
- 方法：UVレーザーにて穴サイズ 35μm、ピッチ 40μm 及び 45μm で穴あけ加工。
- 結果：35μm の穴を 38μm 及び 43μm の間隔で掘削
【加工動画】
※UVレーザーで実施
【加工結果】
カメラ撮影画像<クリックで拡大表示>
顕微鏡画像（ピッチ40μm）<クリックで拡大表示（各種データ付き）>
顕微鏡画像（ピッチ45μm）<クリックで拡大表示（各種データ付き）>
超高精密フェムト秒レーザー加工機
-femt-pro-
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