- 製品名（光響製）加工研究用
UVフェムト秒レーザー - 型番CPA-20
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加工研究用UVフェムト秒レーザーは、波長1μm（IR）フェムト秒レーザー、0.5μm（グリーン）フェムト秒レーザー、0.3μm（UV）フェムト秒レーザーを一体化した研究用途として実用的で簡便なフェムト秒レーザーです。
マニュアルを見ながら模型感覚で組み立てることができるため、フェムト秒レーザー光源を始めパルス伸長器や再生増幅器、パルス圧縮器の開発ノウハウを簡単に習得することができます。本製品は、京都大学大学院工学研究科（ナノテクノロジーハブ拠点長）平尾 一之教授の監修下、弊社が開発・製品化しました。
※ 本製品はレンタルサービスのみとなっております。
加工研究用UVフェムト秒レーザーは、波長1μm（IR）フェムト秒レーザー、0.5μm（グリーン）フェムト秒レーザー、0.3μm（UV）フェムト秒レーザーを一体化した研究用途として実用的で簡便なフェムト秒レーザーです。
マニュアルを見ながら模型感覚で組み立てることができるため、フェムト秒レーザー光源を始めパルス伸長器や再生増幅器、パルス圧縮器の開発ノウハウを簡単に習得することができます。本製品は、京都大学大学院工学研究科（ナノテクノロジーハブ拠点長）平尾 一之教授の監修下、弊社が開発・製品化しました。
※ 本製品はレンタルサービスのみとなっております。
サービス
本製品にて下記のサービスをご利用できます。
解説リンク
加工研究用UVフェムト秒レーザーの特長
- 少ない加工残渣でシャープな微細加工を実現
- 基本波（1μm：IR）、第2高調波（0.5μm：VIS）、第3高調波（0.3μm：UV）の出力が可能
- コンパクト設計（380 × 620 × 210 mm（W・D・H））
- 高平均出力1W（UV条件時）
- パルスエネルギー20μJ（UV条件時）
- パルス幅可変（500 fs〜5 ps）
本加工研究用UVフェムト秒レーザー製品と他社製品の比較
| 項目 | 本製品 | 他社製品 |
|---|---|---|
| 用途 | 研究用 | 産業用 |
| 波長 | 343 nm | 343 nm近辺 |
| パルスエネルギー（UV） | < 20 μJ | < 20 μJ |
| 平均出力（UV） | < 1 W | < 30 W |
| 繰り返し周波数 | 1 kHz〜500 kHz | 〜1 MHz |
| 暖機時間 | なし | 〜1時間 |
| パルス幅の可変範囲（UV） | 500 fs〜5 ps | 基本波のみパルス幅可変 |
| UV fsの価格 | < 2000万円 | > 3000万円 |
用途・アプリケーション例
- 微細加工
- 非熱加工
- 薄膜加工
- 3次元加工
- スクライビング
- フェムト秒レーザー加工
- フェムト秒時間分解分光
- 高非線形ファイバーの励起
- OLEDの切断
- ポリマー薄膜や箔の切断
- 樹脂へのマーキング
関連リンク
構成
加工研究用UVフェムト秒レーザーには下記が含まれております。
- 小型モード同期Ybファイバーレーザーキット（組立済）
- 高平均出力型フェムト秒再生増幅器キット（組立済）
- パルス伸長器
- パルス圧縮器
- 第二次高調波（SHG）デバイス
- 第三次高調波（THG）デバイス
- 増幅器の励起用LD電源
- ポッケルスセル電源
- ミラー等の光学部品一式
- フォトダイオード等のエレクトロニクス部品一式
- 筐体
本fsレーザー製品は、パルスストレッチャーとしてマルティネス型ストレッチャー、再生増幅器としてリニア型再生増幅器、パルスコンプレッサーとしてトレーシー型コンプレッサーを採用しています。
構成図
加工用UVフェムト秒レーザーの構成
加工研究用UVフェムト秒レーザー製品の仕様
| 基本波 | SHG | THG | |
|---|---|---|---|
| 中心波長 | IR 1030 nm （典型値） |
Green 515 nm （典型値） |
UV 343 nm （典型値） |
| パルスエネルギー | ≦ 100 μJ | ≦ 50 μJ | ≦ 20 μJ |
| 平均出力 | < 5 W | < 2.5 W | < 1 W |
| 繰り返し周波数 | 1 kHz ～ 500 kHz | ||
| パルス幅 | < 500 fs | ||
| ビーム品質 | M2 < 2 | ||
| 外形寸法（W・D・H） | 380 mm × 620 mm × 210 mm | ||
※値は50 kHzでの典型値です
測定データの一例
IRのスペクトル
Greenのスペクトル
UVのスペクトル
IRのパルス幅※ データは一例です、条件によって値は異なります。
加工研究用UVフェムト秒レーザーオプション
本fsレーザー製品以外に必要な機器（別売）
初期調整や定常運転のために別途必要な物品を記します。
- チラー（例：SMC 1100W）
- パワーメーター（例：表示器PM100D, センサーS401C）
- オシロスコープ（帯域200MHz以上)（例：Picoscope6404C）
- スペクトロメーター or 分光器（波長帯域350～1100nm、分解能2nm以下）（例：High Resolution Spectrometer-Aurora4000）
- パソコン
- オートコリレーター（パルス幅測定用）
- ビームプロファイラ （例：LaseView ビームプロファイラ）
