超高精密フェムト秒レーザー加工機
フェムト秒レーザーとは
フェムト秒レーザーは超短パルスレーザーとも呼ばれ、1×10-15秒（フェムト秒）という極めて短いパルス間隔でレーザーを照射します。照射箇所のみを分子乖離・コールドアブレーションさせることができるため、微細加工に適しています。
光響製 超高精密フェムト秒レーザー加工機での加工事例を以下に紹介します。
微細加工事例
窒化ガリウム(GaN)基板スライス加工
- GaN基板内部中央部に上下方向分離の為の改質層を生成
- フェムト秒 IR、バーストモードあり、空間位相変調器（LCOS-SLM）、対物レンズ（50倍）使用
その他加工事例
ポリイミドフィルム 微細穴加工
- 穴サイズ 35 μm
- ピッチ 40 μm
- 千鳥格子パターンで穴あけ加工
- フェムト秒UV
カメラ撮影画像<クリックで拡大表示>
顕微鏡画像（ピッチ40μm）<クリックで拡大表示（各種データ付き）>
顕微鏡画像（ピッチ45μm）<クリックで拡大表示（各種データ付き）>
シリコンウェハー 微細溝加工
- ピッチ縦 500 μm x 横 1000 μm (1 mm)
- 格子状に溝加工
- バーストモードあり
- 溝深さ150 μm
加工直後（30倍）<クリックで拡大表示（ピッチデータ付き）>
断面画像（200倍）<クリックで拡大表示（溝深さデータ付き）>
光響製超高精密フェムト秒レーザー加工機
UV、グリーン、IRの3波長に対応したフェムト秒レーザー光源、利用目的に合わせて換装可能な光学系、精密加工ステージをプラットフォームとした超高精密レーザー加工機です。次世代半導体材料へのミクロンレベルの微細加工を実現します。
車載用途も含めた電子部品・半導体向け精密微細加工のご要望で、10社を超える国内大手メーカー様からのレーザー加工の請け負い実績があります。
詳しく見る
主要仕様
- 最大出力 : 80 W
- 最大パルスエネルギー : 2 mJ
- 対応波長 : UV/グリーン/IR
- バーストモード : G Hz + M Hz BiBurst
- 外形サイズ(mm) : 2300(W) x 1770(D) x 2155(H)
搭載可能な光学系
光響製超高精密フェムト秒レーザー加工機ではご利用目的に合わせて最適な光学系を換装可能です。
フルデジタルガルバノスキャナ
– ビーム軌跡制御
- 3波長独立スキャナヘッド（3波長対応）
- 各波長テレセントリックfθレンズ
- 繰り返し精度：±2μrad
- ステージ繰り返し精度：±2μm
空間位相変調器対物レンズ光学系
– ビーム形状制御
- 波面補正（収差補正）
- ビーム分岐（多点化）
- 透明体内部／極微細加工
- ステージによるパルスオンデマンド（等ピッチ）加工
SLMでは光響製CGHソフト+光響製ビームプロファイラを使用しています。
ヘリカリドリル光学系
– ビーム旋回径・角度制御
- テーパーレス 穴／溝／切断加工
- 高アスペクト比加工
- 穴径（溝幅／切断幅）制御
- ガルバノスキャナとの組合せによる多穴加工
レーザークリーナー
レーザークリーナーとは
レーザークリーナーとは、対象素材にレーザーを照射し、表面のサビ・汚れ・塗膜・塩分等をレーザーにより除去できる装置です。従来の洗浄工法との比較で、人手がかからない、ランニングコストが低い（電気代のみ）、産廃物や騒音等の環境負荷が少ない、といったメリットがあります。
光響では、単位面積あたりの集光強度を100 MW/c㎡まで高め、他社製1500 W以上のレーザークリーナーでも除去することのできなかった深いサビや厚みのある塗膜、頑固な汚れまで除去可能な「メガパワーレーザークリーナー3000」、本体重量20 kg以下、家庭用電源での動作により、可搬性・利便性を高めた「小型100Wレーザークリーナー」を筆頭に、多様なレーザークリーナー製品を取り揃えています。
メガパワーレーザークリーナー3000
小型100Wレーザークリーナー
光響製レーザークリーナーラインナップ
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- レーザークリーナー ラインナップ
- 新製品 最高集光強度タイプ
- 新製品 最高出力タイプ
- 小型タイプ
- 万能タイプ
- 小型万能タイプ
- 最速タイプ
- 高出力タイプ
- メガパワー レーザークリーナー 3000
- CW 1500W レーザークリーナー
- コンパクトタイプ50Wレーザークリーナー
- カスタム可能な100Wレーザークリーナー
- 小型100Wレーザークリーナー
- 200Wレーザークリーナー
- CW500Wレーザークリーナー
- レーザークリーナー ラインナップ
